728x90 반응형 coefficient of variation1 Relative Standard Deviation(RSD) 란? (ft. 간단한 Python 예제) Relative Standard deviation(RSD)는 해석하자면 '상대적인 표준편차'이고, 다른 말로는 Coefficient of variation (CV) (변화의 계수)라고 하기도 한다. 이것은 주로 측정의 반복성(Repeatability)을 테스트하는 데 사용된다. 특히, 반도체 분야의 계측에서 wafer의 하나의 die에 대한 측정을 여러 번 반복하여 데이터를 얻은 후 그 측정값들의 RSD를 계산하여 계측의 정밀도(precision)를 평가하게 된다. 따라서, RSD가 작을 수록 정밀도가 높은 계측이 된다. 가령 측정값이 모두 같게 나왔다면, RSD=0%이 될 것이다. 이는 상대적 표준편차가 0이고 계측의 정밀도가 아주 높다는 뜻이다. 이것이 일반적인 표준편차하고 어떻게 다른지는 정의를 보.. 2022. 5. 9. 이전 1 다음 728x90 반응형
